變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度，廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡(jiǎn)便，易于維護(hù)。專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。